Специалисты центра микроэлектроники холдинга «Российские космические системы» (РКС, входит в Госкорпорацию «РОСКОСМОС») разработали технологию группового изготовления маятниковых узлов чувствительных элементов акселерометров. Начало серийного производства на основе новой технологии позволит существенно снизить стоимость этих важнейших элементов систем навигации и управления космической и авиатехники.

Использование микромеханических маятниковых узлов чувствительных элементов акселерометров дает возможность построения широкой гаммы приборов для систем навигации и управления объектами.

Заместитель руководителя отдела разработки микромеханических систем РКС Андрей КОРПУХИН: «В центре микроэлектроники РКС разработаны две технологии группового изготовления кремниевых маятниковых узлов емкостного и компенсационного типа. Мы также разработали технологию группового изготовления кварцевых маятниковых узлов компенсационного типа».

На основе новых технологий в РКС освоено мелкосерийное производство емкостных и компенсационных кремниевых маятниковых узлов. Во всех технологиях используются пластины 100 мм, что позволяет заметно снизить затраты при их изготовлении.

Представитель компании-заказчика, ведущий инженер-конструктор АО «Раменский приборостроительный завод» Александр КОЖАНОВ: «Эти устройства удовлетворяют нашим сегодняшним потребностям и применяются при создании приборов для платформенных и бесплатформенных навигационных систем. Планируется внедрение элементов в состав аппаратуры перспективных навигационных систем».

Разработка РКС удостоена двух золотых медалей – Московского Международного салона изобретений «Архимед» и Международной выставки инноваций и изобретений в Макао.